Телефон: +7 995 658 48 67

Измерение вибрации для высокоточного оборудования

Любое высокоточное оборудование, работающее с мелкими деталями, чувствительно к вибрации. Вибрация может создана работой других приборов, строительными работами, проводимыми по соседству, либо транспортом: автомобили, железнодорожный транспорт и метро.

Проведение измерений вибрации необходимо на этапе установки высокоточного оборудования, с целью подтверждения подходящих для его нормальной эксплуатации показателей помещения. Либо уже в процессе эксплуатации в случае проведения строительных работ рядом. Мониторинг вибрации способен подтвердить функционирование приборов с заявленной точностью.

Вибрационные критерии VC

Для оценки уровня вибрации используются так называемые вибрационные критерии (vibration criteria), или кривые VC. Есть и другие методы оценки, но этот наиболее распространенный.

Измеряемый показатель – среднеквадратичные результаты виброскорости в 1/3 октавных полосах, V_СКЗили V_R.M.S.

Вибрационные критерии зависят от размера объектов, с которыми работает оборудование. Ниже приведена таблица соответствия приборов и критериев.

Вибрационный критерий	Max V_СКЗ в 1/3-октавах 8-80 Гц	Тип оборудования	Типовой размер объекта, с которым работает оборудование
VC-A	50 мкм/с	Лабораторное оборудование общего назначения, микроскопы с увеличением до 400х, метрологические лаборатории, производство микроэлектроники общего назначения	8 мкм
VC-B	25 мкм/с	Микроскопы с увеличением до 1000х, оборудование для литографии (характерные размеры до 3 мкм)	3 мкм
VC-C	12,5 мкм/с	Литография (характерные размеры - 1 мкм), электронные микроскопы с увеличением 30000х, магнито-резонансная томография (MRI)	1 мкм
VC-D	6,3 мкм/с	Электронные микроскопы с увеличением более 30000х, масс-спектрометры, оборудование для фотолитографии	0,3 мкм
VC-E	3,1 мкм/с	Нанотехнологии, оборудование со сверхточным позиционированием, прецизионные лазерные и оптические системы	0,1 мкм

Измерение вибрации для виброчувствительного ооборудование

Для измерения среднеквадратичных результатов виброскорости используются либо датчики непосредственного измерения виброскорости, либо датчики измерения виброускорения, с последующим пересчетом виброскорости. Датчики виброскорости неудобны в использовании и имеют ограниченный функционал. Поэтому в нашей лаборатории используются датчики измерения виброускорения.

Для исключения возможности ошибки в расчетах, измерения проводятся самым совершенным шумомером-виброметром Экофизика 110А HF, способным автоматически проводить расчет виброскорости в реальном времени. Это позволяет добиться наиболее точных результатов и сократить время обработки данных.

Измерения проводятся одновременно в трех направлениях: два горизонтальных, одно вертикальное, соответствующих осям X, Y, Z. Все измерения сохраняются в памяти устройства, потом проводится камеральный анализ.

Таблица соответствия датчиков и измеряемых критериев VC.

Первичные преобразователи	Тип датчика	Возможность измерения вибрационных критериев
AP2006-500	высокочувствительный однокомпонентный акселерометр с низким уровнем собственного шума	VC-A, VC-B, VC-C, VC-D, VC-E
AP2099-100	однокомпонентный акселерометр с повышенным разрешением	VC-A, VC-B, VC-C, VC-D
AP98, AP98-100, AP2037-100	однокомпонентные акселерометры	VC-A, VC-B, VC-C
AP2082M	трёхкомпонентный акселерометр	VC-A, VC-B
AV-01	однокомпонентный датчик скорости	VC-A

Испытательная лаборатория «РУМБ» может измерить виброскорость для критериев VC вплоть до VC-E, таким образом, обеспечивая максимальную точность оценки вибрации.

Измерение вибрации для высокоточного оборудования является для нас не просто теорией, а практическим опытом работ, проведенных в НИЦ «Курчатовский институт».

Для консультации, пожалуйста, позвоните нам или оставьте заявку ниже.