Телефон: +7 995 658 48 67
Вибромониторинг высокоточного оборудования
Проводим измерения вибрации для мониторинга и проектирования расположения высокоточного оборудования
Любое высокоточное оборудование, работающее с мелкими деталями, чувствительно к вибрации. Вибрация может быть создана работой других приборов, строительными работами, проводимыми по соседству, либо транспортом: автомобили, железнодорожный транспорт и метро.

Проведение измерений вибрации необходимо на этапе установки высокоточного оборудования, с целью подтверждения подходящих для его нормальной эксплуатации показателей помещения, либо уже в процессе эксплуатации в случае проведения строительных работ рядом. Мониторинг вибрации способен подтвердить функционирование приборов с заявленной точностью.

Вибрационные критерии VC

Для оценки уровня вибрации используются так называемые вибрационные критерии (vibration criteria), или кривые VC. Есть и другие методы оценки, но этот наиболее распространенный.

Измеряемый показатель – среднеквадратичные результаты виброскорости в 1/3 октавных полосах, VСКЗ или VR.M.S.

Вибрационные критерии зависят от размера объектов, с которыми работает оборудование. Ниже приведена таблица соответствия приборов и критериев.

Вибрационный

критерий

Max VСКЗ в 1/3-октавах 8-80 Гц

Тип оборудования

Типовой размер объекта, с которым работает оборудование

VC-A

50 мкм/с

Лабораторное оборудование общего назначения, микроскопы с увеличением до 400х, метрологические лаборатории, производство микроэлектроники общего назначения

8 мкм

VC-B

25 мкм/с

Микроскопы с увеличением до 1000х, оборудование для литографии (характерные размеры до 3 мкм)

3 мкм

VC-C

12,5 мкм/с

Литография (характерные размеры - 1 мкм), электронные микроскопы с увеличением 30000х, магнитно-резонансная томография (MRI)

1 мкм

VC-D

6,3 мкм/с

Электронные микроскопы с увеличением более 30000х, масс-спектрометры, оборудование для фотолитографии

0,3 мкм

VC-E

3,1 мкм/с

Нанотехнологии, оборудование со сверхточным позиционированием, прецизионные лазерные и оптические системы

 0,1 мкм

Наш подход к измерениям для определения соответствия выбранному VC

Для измерения среднеквадратичных результатов виброскорости используются либо датчики непосредственного измерения виброскорости, либо датчики измерения виброускорения, с последующим пересчетом виброскорости. Датчики виброскорости неудобны в использовании и имеют ограниченный функционал. Поэтому в нашей лаборатории используются датчики измерения виброускорения.

Для исключения возможности ошибки в расчетах, измерения проводятся шумомером-виброметром Экофизика, способным автоматически проводить расчет виброскорости в реальном времени. Далее проводится постобработка полученных данных с помощью ПО Signal+.
Измерения проводятся одновременно в трех направлениях: два горизонтальных, одно вертикальное, соответствующих осям X, Y, Z.

Возможны несколько вариантов работы программно-аппаратного комплекса:
1) Мониторинг вибрации в режиме реального времени (при наличии сотовой связи);
2) Мониторинг вибрации с записью в локальную память прибора (возможна непрерывная запись до 7 суток).

В зависимости от строгости выбранного критерия, мы способны к единовременному параллельному мониторингу сразу в пяти точках.

Испытательная лаборатория «РУМБ» может измерить виброскорость для критериев VC вплоть до VC-E, таким образом, обеспечивая максимальную точность оценки вибрации.

Мы имеем ряд успешных кейсов решений проблем с негативным воздействием вибрации на высокоточную измерительную технику:
-Реконструкция корпуса протонно-лучевой терапии НИЦ "Курчатовский институт";
-Работа с проектируемым опытным участком золотой микронной проволоки АО «МЗСС»;
-Работа с предприятием ОАО "Интеграл" и другие объекты.
Для консультации, пожалуйста, позвоните нам или оставьте заявку ниже.
Made on
Tilda